F12200 - SEMI F122 - Guide for Facilities Data Package for Manufacturing Equipment Installation and Building Information Modeling StdPbc-1122 本文書は，マップデータ・アイテムのフォーマットに対して適用する。本文書は，伝送，ファイル名称規定，保存またはマップの記録を提言するものではない。

本文書は，マップデータ・アイテムのフォーマットに対して適用する。本文書は，伝送，ファイル名称規定，保存またはマップの記録を提言するものではない。

• Support equipment interconnects

reduces stray light

装置の有用性

Referenced SEMI Standards (purchase separately)SEMI 3D7 — Guide for Alignment Mark for 3DS-IC Process

F12200 - SEMI F122 - Guide for Facilities Data Package for Manufacturing Equipment Installation and Building Information Modeling StdPbc-1122 本文書は，マップデータ・アイテムのフォーマットに対して適用する。本文書は，伝送，ファイル名称規定，保存またはマップの記録を提言するものではない。1 Purpose 1. 1 This Guide suggests formats for the facilities data package (FDP) typically required for the installation of manufacturing equipment in a facility. The data and formats suggested by this Guide complement other SEMI Standards (e. g., SEMI E6), and include the utility requirements and connections information needed for installing manufacturing equipment (including support equipment) and connecting that equipment to the facility and