F08500 - SEMI F85 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様 StdPbc-1122 E 本文書は2007年2月に編集上の修正がなされた。変更箇所は，¶ R2-2

E　本文書は2007年2月に編集上の修正がなされた。変更箇所は，¶ R2-2

分散オブジェクト通信 － CIMフレームワークインタフェースをサポートしている実装が，分散されていると思われる他の実装の場所をトランスペアレントに特定し，スタンダードなCIMフレームワークオペレーションを要求するメッセージを交換するための基本的なサービスを提供する。インタフェース定義言語（IDL）は統合および相互運用の準備が整った準拠実装に自動的に変換できるCIMフレームワークインタフェースの形式を規定する。

SEMI E82-1106 (Reapproved 0523)

SEMI E28-0218 (technical revision)

The procedures include shear test

F08500 - SEMI F85 - 1.125インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様 StdPbc-1122 E 本文書は2007年2月に編集上の修正がなされた。変更箇所は，¶ R2-2global Gases Technical Committee2012830global Audits and Reviews Subcommittee201210www. semiviews. org www. semi. org2004320123 1. 1251 14 308 kPa (44. 7 psia)50 slm20 C 3445 kPa (500 psia) Referenced SEMI Standards SEMI E49. 8 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI F20 Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used